掩膜版｜保護膜表面顆粒物快速檢測系統（PDS）為掩膜版、掩膜版保護膜以及基板（襯底）制造工藝，提供高通量的表面顆粒污染檢測服務。該系統對粒徑大于 0.1μm 的...

Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統（PDS)，專為各行業產品表面顆粒污染物直接測量而設計，主要應用于半導體領域的晶圓、薄膜及光罩檢測，也可用于顯示市...

Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀，是一款基于“膠帶粘取"采樣技術的表面污染檢測工具，可通過間接測量方式識別小至 0.5um 的顆粒污染物。其配備的專用 ...

Fastmicro 環境落塵顆粒實時監控儀，專為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發，支持秒級間隔的數據采集，精準測量 0.5 um 以上顆粒。結合直觀易用的軟件系統，...